1.  对于C窄谱要不要测？C窄谱对数据直接的影响是什么？

答：必测，在实际的XPS分析中，一般采用内标法进行校准。最常用的方法是用真空系统中最常见的有机污染碳的C1s的结合能（284.8eV不一定完全一致，具体和工程师确认）作为参照峰，进行校准。但也可以不测，可以用O的531.1eV，或者金的零价标准峰进行校正。

2.  XPS测试，谱图如何校正、定标？

答：总谱、分谱是不同的测试方法，不是一起校正的，只校正分谱数据，总谱不用校正；价带谱VB是以刚出峰的位置为0进行校正的。

3.  数据中C、N、O元素含量比实际样品的高，或没有C、N、O但是测出来了？

答：（1）样品吸附了空气中的污染物导致，在数据处理时，把非样品所含有的污染物的峰先分出来，剔除掉 ，再重新计算含量；

（2）如果对这个要求较严，建议后期样品制备后抽真空密封保存，测试时选择手套箱制样并测试；如果是非粉体样品，可选择刻蚀后测试。

4.  样品不含有这个元素，为什么全谱测出这个元素了（除CNO）？

答：（1）样品理论上应该不含有，但是样品在处理过程中是有引入该元素的成分，在后续的处理过程没有完全处理干净；

（2）待测试样品是在某种基底上测试的，但待测试样品量较少，测试到了基底；

（3）被同一批次的其他样品，或者有易挥发组分（如S、F），或者进行刻蚀后，污染了该样品表面。

5.  某元素含量很高大概5%，测出来信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，测出来信噪比反而很好？

答：（1）不同元素的主峰的灵敏度因子和检测限不一样；

（2）样品分布不均匀；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内。

6.  所测窄谱元素，含量比为什么跟预期不符？

答：（1）样品表面被污染；

（2）样品分布不均匀；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内；

（4）XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入。

PS：XPS是一种典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，测试得到的仅是样品表面几百甚至几十um大小，几个nm深度的样品信息，不代表样品整体性质。

7.  样品中，某元素窄谱曲线不光滑，峰刺较多，或没有测出该元素？

答：（1）元素含量比较低；

（2）样品分布不均匀，所测试的光斑范围内，该元素含量较少；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内。

8.  分峰后，某元素结合能位置不对？

答：（1）确认下数据是否校正（我们给的数据，一般是没有校正的数据）；

（2）分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响，某些化学环境会导致峰有正常的偏移；

（3）确认下分峰是否正确。

9.  元素的结合能测试范围和之前的不同，无法对比？

答：如果该元素的峰是完整的，可以自行截取至相同结合能范围进行对比，如果不影响分析也可以不进行截取。

10.  分峰后，对应价态的峰没有？

答：（1）需要分峰后进行分析，并需确认分峰是否正确；

（2）全谱的能量很高，如果测不出来，可能是污染碳很高，或者测试深度范围内的含量太少（整体该价态比较高，但是表面很少），一般是后者原因居多。

11.  所测2个元素的窄谱峰有重合，无法分峰？

答：可尝试测其中某一元素其它轨道峰，来避免与另一元素窄谱峰重合。

12.  一般用C进行校正，但是这个峰位会移动很多么？

答：一般偏移1eV已经差不多了，如果偏移很大，肯定是有问题的。

13.  某些价态扫不出来？

答：不会，150eV的全谱，能量很高了，要么就是污染碳很高，要么就是含量很少。

14.  每种元素的检测限一样么？

答：不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

15.  像Ag元素有5/2，3/2的，如果客户没有说测哪个峰，然后默认测了其他的，那他需要5/2的话是不是只能复测？还是让测试老师直接处理原始数据就行？

答：需要复测。

16.  峰位是固定的么？有没有可能受其他因素影响导致峰位有位移？

答：峰位不是固定的，受他其他周围的化学环境的影响，会有位移。

17.  每种元素的主峰都是同一个么，还是和样品本身有关？

答：每种元素的主峰都是固定的。

18.  XPS只能算是半定量吗？

答：是的，XPS主要是半定量分析，主要采用灵敏度因子法，灵敏度因子是基于标准样品获得的，实际样品与标准样品肯定有偏差，所以得到的定量数据就是半定量的数值。

19.  XPS如何确定价带位置？

答：通常用UPS确定价带位置，而XPS价带谱用来判断分子信息。

20.  峰偏移在多少范围是正常？

答：同种化学态的结合能不是一个精准数值，而是能量范围，所以与查询标准能量差正负0.5之内都是合理范围。当然同时要结合其他元素的谱峰和结合能一起判定。